华滤环保
全国免费服务热线

13816761646

华滤环保科技(天津)有限公司
解决方案
联系我们

华滤环保科技(天津)有限公司

地址:天津市河北区光复道街民生路56号314-190

邮箱:linxiaobing@szhualv.com

技术咨询:13816761646

电子工艺

p2b-半导体应用流程

发布时间:2017-06-28作者:阅读量:1170

典型应用A:化学品过滤

在半导体制造中化学品过滤,主要有两个方面的挑战,首先是过滤材料对化学品的适应能力,不得当的材料选择,会造成重大的质量事故,而用于半导体的化学品多为强酸、强碱和一些腐蚀性极强的物料,所以包括过滤容器在内,多使用PVDF(聚偏氟乙烯)和PTFE(聚四氟乙烯)材料。另外一个方面就是对精度的挑战也达到了极限,0.04/0.1/0.22μm的过滤是经常被使用的,而且其去除效率要达到99.9999%,而且在极端条件下的COD析出值也要控制在ppb等级。

由于洁净度的高要求,就在化学品的转运的没个环节几乎都安排了过滤器,在供应商运送物料的槽车上,在输送的管路上;到每一个使用设备的进料口,都严格按要求提供。


扫一扫二维码
关注我们